真空度測(cè)試儀說(shuō)明書(shū)
第一章 安全規(guī)則及注意事項(xiàng)
請(qǐng)您在使用 MVC 系列真空度測(cè)試儀前仔細(xì)閱讀本手冊(cè)。
? 在開(kāi)機(jī)之前請(qǐng)先接好所有測(cè)試連接線，如打印機(jī)連接線；
? 測(cè)量前，請(qǐng)檢查管型是否適合所檢測(cè)的真空管，以便準(zhǔn)確測(cè)量。
? 開(kāi)機(jī)、關(guān)機(jī)及測(cè)量時(shí)，不要觸及高壓線和磁控電流線，以防觸電。
? 儀器在使用過(guò)程中，如發(fā)現(xiàn)線圈發(fā)出異常響聲，應(yīng)考慮測(cè)試線短路或接觸不良，或者空
氣十分潮濕，或真空斷路器表面罩有灰塵等因素。
? 請(qǐng)不要使用汽油、香蕉水等化學(xué)劑擦拭機(jī)器，而應(yīng)使用柔軟干燥的布。
? 請(qǐng)確認(rèn)當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)電壓是否與本機(jī)供電電壓相符。
交流 220±10% 50/60H
Z
? 請(qǐng)注意不要在雷雨的情況下使用機(jī)器。
? 請(qǐng)不要破傷隨機(jī)所帶的線纜，以確保使用安全。
? 儀器出現(xiàn)故障時(shí)，非本公司專業(yè)技術(shù)人員嚴(yán)禁擅自打開(kāi)儀器進(jìn)行檢修。
? 嚴(yán)禁高壓端直接或間接對(duì)地?cái)嗦贰?br/>第二章 儀器簡(jiǎn)介
MVC-383真空度測(cè)試儀是真空滅弧室的真空度的
鑒定設(shè)備。經(jīng)西安高壓電器研究所檢驗(yàn)并出具合格證
書(shū)。是目前國(guó)內(nèi)能唯一的真實(shí)檢測(cè)真空含量的少數(shù)品
牌之一。它以單片計(jì)算機(jī)為主控單元，測(cè)試過(guò)程完全
實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。該儀器在原理上改變了國(guó)內(nèi)外同類產(chǎn)品
采用電流峰值做標(biāo)定的方法，而采用離子電荷來(lái)做標(biāo)
定。這樣，在物理原理上準(zhǔn)確性更高，而且，有效地
抑制了測(cè)試過(guò)程中脈沖電源的干擾，使測(cè)試穩(wěn)定可靠。該儀器采用二次采樣的方法扣除由于
環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流，并且在測(cè)量過(guò)程中考慮了完全漏氣的真空滅弧室的判別，真正做
到了對(duì)安裝于整機(jī)上的真空滅弧室的準(zhǔn)確計(jì)量。目前，該儀器中已存有 35 條真空滅弧室的測(cè)
量標(biāo)準(zhǔn)曲線，涵蓋了國(guó)內(nèi)外絕大多數(shù)管型。該儀器質(zhì)量過(guò)硬，性能可靠，造形美觀，使用方
便。
第1頁(yè) 共20頁(yè)真空度測(cè)試儀說(shuō)明書(shū)
性能特點(diǎn)：
1、基于電離電荷的采樣技術(shù)
MVC 系列真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專家在磁控放電的
研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí)，真空滅弧室內(nèi)的
真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)間
接關(guān)系。因此，我公司首創(chuàng)了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度
計(jì)量的準(zhǔn)確性。
2、高低壓管型測(cè)試
本機(jī)另外對(duì)測(cè)試電壓輸出應(yīng)用了兩個(gè)檔位(高壓 3 萬(wàn)低壓 2.5)，因此可對(duì)高低壓不同
的各類管型時(shí)行有效測(cè)試。
3、內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí)，其
放電電荷量是不同的，并且有相當(dāng)?shù)牟町悺闇?zhǔn)確測(cè)量，對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)
的從電離電荷量到真空度推算曲線。我公司的專家通過(guò)與國(guó)內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的
密切合作，取得了幾乎國(guó)內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù)，通過(guò)數(shù)學(xué)
處理，將其特征參數(shù)送入 MVC-383 系列產(chǎn)品。因此，MVC-383 系列產(chǎn)品內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎
所有真空滅弧室的測(cè)量曲線。這是國(guó)內(nèi)外同類產(chǎn)品中絕無(wú)僅有的。
4、漏電電流的處理
對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室動(dòng)觸頭加高壓靜觸頭端加負(fù)離子電流時(shí)，靜觸頭端會(huì)有
數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體
差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏
電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性。并且在數(shù)值上與 10E—4Pa 數(shù)量級(jí)的真空滅弧
室的電離電流相當(dāng)。我們采用二次起動(dòng)高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無(wú)論是裝于
整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。
5、判別完全漏氣的真空滅弧室
在 MVC-383 型機(jī)中，通過(guò)高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否完全漏氣。
6、完善的輸入保護(hù)電路
當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí)，測(cè)量時(shí)真空滅弧室會(huì)被高壓擊穿，瞬間的高壓直接
加至負(fù)離子電流采樣電路上，使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。MVC-383 的采樣電路增加了完
備的保護(hù)電路，即使儀器由于輸入端的高壓直接加到負(fù)離子電流采樣端居第一時(shí)間，微電
腦保護(hù)裝置會(huì)立即起控，使其進(jìn)入保護(hù)狀態(tài)，就不會(huì)造成電路嚴(yán)重的損壞。
第2頁(yè) 共20頁(yè)真空度測(cè)試儀說(shuō)明書(shū)
7、數(shù)據(jù)記錄
內(nèi)設(shè)微型打印機(jī)，可隨時(shí)打印出被測(cè)數(shù)據(jù)。
第三章 測(cè)試原理
利用離子電流在不同真空條件下的漏電流不同，來(lái)測(cè)試鑒別真空滅孤室優(yōu)劣。
將滅弧室兩觸頭拉開(kāi)一定的開(kāi)距，動(dòng)觸頭施力高壓脈沖靜觸頭施加負(fù)離子電流。由于漏
電電流非常弱，易于受到外界不同的干擾而降低精度。因此，必須通過(guò)勵(lì)磁線圈繞于滅弧室
外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)來(lái)，加速離子流，按
比例放大采樣率。這樣，在脈沖磁場(chǎng)的作用下，滅弧室中的電子作螺旋運(yùn)動(dòng)，并與殘余氣體
分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于直徑
不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同。通過(guò)實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種
管型的真空度與離子電流的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測(cè)知離子電流后，調(diào)用內(nèi)部相對(duì)應(yīng)的比例參樣，
加以精確運(yùn)算，得出準(zhǔn)確真實(shí)真空度值。也就是說(shuō)通過(guò)查詢?cè)摴苄偷碾x子電流——真空度曲
線獲得該管型的真空度，這一過(guò)程由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成。
第四章 技術(shù)參數(shù)
? 所測(cè)真空泡：電壓等級(jí) 6KV-35KV 以上
? 測(cè)量范圍：10-5 10-1Pa
-
? 測(cè)量誤差：10-4 -10-1Pa 中誤差±10%
? 測(cè)量分辨率：10-5 Pa
? 漏氣的滅弧室在測(cè)量中將發(fā)生電擊穿，本機(jī)處于保護(hù)狀態(tài)。
? 允許環(huán)溫：-20℃-50℃，如在 0℃以下測(cè)試時(shí)請(qǐng)先將機(jī)器通電 20 分鐘后再使用。
? 空氣濕度：＜85%RH
? 輸入電源：AC220V±10% 50/60HZ
? 外形尺寸：350×320×225mm]
? 主機(jī)重量：10.8kg
第3頁(yè) 共20頁(yè)真空度測(cè)試儀說(shuō)明書(shū)
第五章 真空度測(cè)試儀面板和外部接線圖
磁控電流輸出
面板介紹::::
1、 離子電流輸出端：用于輸出測(cè)試所需的離子電流。（漏電流采樣端）
2、 磁控電流輸出端：用于輸出測(cè)試所需的磁控電流來(lái)加速電子流以減小外界的各種因素
對(duì)測(cè)量精度的影響。
3、 高壓輸出端：用于輸出測(cè)試所需的高壓。（低 2. 5 萬(wàn)伏高 3 萬(wàn)伏）詳見(jiàn) 3.3.5 操作說(shuō)
明.
4、 外接電源:提供儀器所需的工作電壓。AC220V±10% 50/60HZ)
5、 電源開(kāi)關(guān)：控制儀器的總開(kāi)關(guān)。
6、 管型：用于選擇與測(cè)試相對(duì)應(yīng)的管型。
7、 真空度顯示：用于顯示檢測(cè)真空度的真實(shí)值。（讀數(shù)用科學(xué)計(jì)數(shù)法讀取）

尊敬的用戶，真空度測(cè)試儀是一種專門用于測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備或系統(tǒng)內(nèi)部真空狀態(tài)的精密儀器。它通過(guò)測(cè)定單位體積內(nèi)的氣體分子數(shù)量來(lái)確定真空環(huán)境的壓力值，常應(yīng)用于航天、半導(dǎo)體制造、食品包裝、實(shí)驗(yàn)室研究以及各類機(jī)械設(shè)備的氣密性檢測(cè)等領(lǐng)域。 關(guān)于真空度測(cè)試儀的說(shuō)明書(shū)，通常會(huì)包含以下內(nèi)容： 1. 產(chǎn)品概述：介紹測(cè)試儀的基本結(jié)構(gòu)、工作原理、主要功能及適用范圍； 2. 技術(shù)參數(shù)：詳細(xì)列出儀器所能達(dá)到的真空度范圍、精度、響應(yīng)時(shí)間等關(guān)鍵指標(biāo)； 3. 使用方法： - 開(kāi)箱檢查與安裝步驟 - 連接電源并校準(zhǔn)（如有必要） - 如何啟動(dòng)和操作儀器進(jìn)行真空度測(cè)量 - 測(cè)量過(guò)程中的注意事項(xiàng)與安全規(guī)定 4. 示例應(yīng)用：展示在實(shí)際使用場(chǎng)景中如何正確地對(duì)不同設(shè)備或系統(tǒng)進(jìn)行真空度測(cè)試，并給出相應(yīng)的測(cè)試數(shù)據(jù)處理與分析方法； 5. 維護(hù)保養(yǎng)與故障排除：介紹儀器日常維護(hù)的要點(diǎn)、常見(jiàn)問(wèn)題及解決辦法； 6. 售后服務(wù)與聯(lián)系方式：提供產(chǎn)品的質(zhì)保期、維修保養(yǎng)政策以及售后服務(wù)熱線等相關(guān)信息。 為了更好地理解和使用真空度測(cè)試儀，請(qǐng)您查閱具體的用戶手冊(cè)或聯(lián)系我們的技術(shù)支持獲取詳細(xì)的操作指南和相關(guān)文檔。如果您有關(guān)于真空度測(cè)試儀的具體使用疑問(wèn)，也歡迎您隨時(shí)向我們提問(wèn)。